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气体质量流量计【简称MFM】基于内部补偿型*层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测或作为标准表进行量值传递与校准等。
气体质量流量控制器【简称MFC】基于内部补偿型层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量，从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。层流质量流量控制器可作为主要设备在高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中使用。
